kuyou.com|迪乐馆棋牌|ASML申请通过局部充电失真建模实现精确准确临界
2025.12.11
九州酷游电子科技
国家知识产权局信息显示ღღ,ASML荷兰有限公司申请一项名为“通过对局部充电失真建模的精确和准确临界尺寸测量”的专利迪乐馆棋牌kuyou.comkuyou.comღღ,公开号CN121039774Aღღ,申请日期为2024年4月kuyou.comkuyou.comkuyou.comღღ。
专利摘要显示迪乐馆棋牌迪乐馆棋牌迪乐馆棋牌ღღ,一种用于表征和预测晶片临界尺寸测量中的局部充电效应的系统和方法迪乐馆棋牌ღღ。所述系统和方法可以包括临界尺寸模型迪乐馆棋牌kuyou.comღღ,所述临界尺寸模型包括被检查晶片上的每一类特征的充电系数ღღ。充电系数可以基于维度建模ღღ。所述模型还可以包括初始充电状态和描述作为时间或给定区域中的测量扫描次数的函数的局部充电效应的变化的项迪乐馆棋牌迪乐馆棋牌ღღ。九州ku酷游(中国)有限公司官网九州酷游网址多少ღღ,九洲KU游备用ku酷游登录页